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學術研究

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期刊論文
學年度105
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)Laser Cleaning Technique Using Laser-induced Acoustic Streaming for Silicon Wafers
期刊名Journal of Laser Micro/Nanoengineering
出版日期2017-04-01
卷數12
期數1
起迄頁1
起迄頁5
總頁數5
作者中文名蔡傳暉
全部作者Chwan-Huei Tsai and Wen-Shiang Peng
著作人數2
作者型態First Author / Corresponding Author
使用語言英文
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