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| 學年度 | 105 |
|---|---|
| 期刊等級 | SCI |
| 論文名稱(篇名) | Laser Cleaning Technique Using Laser-induced Acoustic Streaming for Silicon Wafers |
| 期刊名 | Journal of Laser Micro/Nanoengineering |
| Publish Date | 2017-04-01 |
| 卷數 | 12 |
| Issue | 1 |
| 起迄頁 | 1 |
| 起迄頁 | 5 |
| 總頁數 | 5 |
| 全部作者 | Chwan-Huei Tsai and Wen-Shiang Peng |
| 著作人數 | 2 |
| 作者型態 | First Author / Corresponding Author |
| 使用語言 | 英文 |
